東京工業(yè)大學校長益一哉等人與NTT尖端技術公司利用包含多個金屬層的積層金屬結構，成功開發(fā)出具有超低噪聲和超高靈敏度的MEMS(微機電系統(tǒng))加速度傳感器，實現了1微(μ)G級(G=9.8m/s2，重力加速度)的高分辨率檢測。

這一創(chuàng)新技術提高了超小型加速度傳感器的分辨率，并實現其通用化，可用于醫(yī)療保健、基礎設施診斷、移動體控制、機器人應用等各種運動檢測中，有助開發(fā)新的器件和系統(tǒng)。

該研究小組此前提出過利用金材料將MEMS加速度傳感器的砝碼體積削減至十分之一以下的方法。此次以該方法為基礎，通過重疊多層金層形成MEMS結構，增加了單位面積的砝碼重量，與以往相同尺寸的傳感器相比，靈敏度提高百倍以上，噪聲降至十分之一以下。

相關研究近日發(fā)表于國際學術論文期刊《傳感器與材料》網絡版。

(來源：日本科學技術振興機構)