新華財經(jīng)北京3月10日電 鼎龍股份公告，公司控股子公司武漢鼎澤新材料技術(shù)有限公司的氧化鋁拋光液產(chǎn)品在某家公司28nm節(jié)點HKMG工藝的Al CMP制程驗證通過。該產(chǎn)品使用氧化鋁研磨粒子和高分子聚合物，是所有拋光液中技術(shù)最難的關(guān)鍵材料，公司已突破技術(shù)難關(guān)，實現(xiàn)三種關(guān)鍵材料的自主制備。該款搭載公司自制研磨粒子的拋光液產(chǎn)品，是目前尚未取得國產(chǎn)化材料突破的卡脖子拋光液型號之一，難度極高，其各項參數(shù)均達到客戶應(yīng)用要求，通過客戶端全方面工藝參數(shù)驗證，并已進入噸級采購階段。

編輯：丁晶

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